专利名称：一种高纯氨水连续生产装置专利类型：实用新型专利发明人：张传武,刘兵
申请号：CN201520156863.8申请日：20150319公开号：CN2044614U公开日：20150708
摘要：本实用新型涉及一种高纯氨水连续生产装置，所述生产装置包括依次设置和通过连接管道连通的液氨原料罐、降压蒸发设备、油水分离器、气体过滤器、混合吸收设备、冷却设备、中间储罐、循环过滤设备和成品储罐。本实用新型生产装置结构简单、能耗低，适于连续生产满足甚至超过SEMI-C12标准要求的高纯氨水产品。
申请人：苏州晶瑞化学有限公司
地址：215168 江苏省苏州市吴中经济开发区澄湖东路3号
国籍：CN
代理机构：苏州创元专利商标事务所有限公司
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