专利名称：软磁性靶材专利类型：发明专利发明人：柳谷彰彦,相川芳和申请号：CN201410287333.7申请日：20070411公开号：CN104032276A公开日：20140910
摘要：本发明公开一种不使磁特性劣化，并使耐气候性提高的软磁性靶材。第一方式的软磁性靶材，由Fe:Co的原子比为100:0～20:80的Fe－Co系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。另外，本发明的第二方式的软磁性靶材，由Fe:Ni的原子比为100:0～20:80的Fe－Ni系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。在第一及第二方式的软磁性靶材中，上述合金能够含有30原子％以下的从B、Nb、Zr、Ta、Hf、Ti及V所构成的群中选择的1种或2种以上。
申请人：山阳特殊制钢株式会社
地址：日本兵库县
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：蒋亭
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