难熔稀有金属环形靶材的制备装置[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：难熔稀有金属环形靶材的制备装置专利类型：实用新型专利

发明人：郭校亮,张磊,陈良杰,张建帅申请号：CN201821412801.9申请日：20180830公开号：CN208791740U公开日：20190426

摘要：本实用新型涉及一种难熔稀有金属环形靶材的制备装置，属于金属靶材的制备技术领域。所述装置包括炉体、真空系统、充气阀、电子和水冷模具，所述炉体分为炉室和电子室，真空系统分别与炉室和电子室相连，充气阀分别与炉室和电子室相连，所述水冷模具设于炉室内部，电子设于水冷模具上方，所述水冷模具为设有若干个环形水冷槽的模具。本实用新型所述的技术方案可简化难熔稀有金属靶材的制备工艺，降低后续加工难度，提高产品的出成效率和纯度。

申请人：青岛蓝光晶科新材料有限公司

地址：266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色硅谷核心区创业中心一期-海创中心3号楼A座4-401

国籍：CN

代理机构：青岛发思特专利商标代理有限公司

代理人：巩同海

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