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一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置

来源：赴品旅游

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN2016204344.8 （22）申请日 2016.05.13

（71）申请人温州海旭科技有限公司

地址 325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海园区滨海十路716号7号楼

（10）申请公布号 CN205920983U

（43）申请公布日 2017.02.01

（72）发明人陈德榜（74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置

（57）摘要

本实用新型公开了一种硅太阳能电池等离

子刻蚀装置，包括风机和刻蚀室，所述刻蚀室内部顶端设置有均风扇，所述射频电极固定座下端设置有射频电极，所述刻蚀室的底部设置有滑轨，所述支腿上端安装有承重支架，所述承重支架上端设有旋转装置，所述旋转装置上端安装有桌面面板，且所述桌面面板上端放置有硅片垫片，所述硅片垫片上端面放置有硅片；该种硅太阳能电池等离子刻蚀装置用载硅片车作为硅片载

体，实现了硅片批量次生产，悬挂式射频电极通过均风扇将产生的等离子辉光吹拂到待刻蚀的硅片沿边，极大的控制了因刻蚀导致的沿边钻蚀，保证了同批次硅片刻蚀的一致性，减少了破损率。

法律状态

法律状态公告日

2017-02-01 2017-02-01 2020-05-01

法律状态信息

授权授权专利权的终止

法律状态

授权授权

专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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